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GORE?臭氧化模組由PTFE和PFA材料制成,具有高潔凈度。

就硅晶圓和半導(dǎo)體清洗工藝而言,業(yè)內(nèi)正在改用臭氧水處理方案。這種方案更環(huán)保,不涉及昂貴的廢物處理,成本比化學(xué)混合物清洗工藝更低??上驳氖牵?duì)柟?W. L. Gore & Associates)提供的GORE臭氧化模組比目前市場(chǎng)上的溶解臭氧方案更勝一籌,提供目前市場(chǎng)上更潔凈、無(wú)氣泡且濃度更高的臭氧水制備方案。戈?duì)柲=M久經(jīng)驗(yàn)證,是改進(jìn)半導(dǎo)體晶圓清洗和平板顯示器制造工藝、更環(huán)保的可靠解決方案。

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